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J-GLOBAL ID：202103000059521889

光学測定装置、光学測定方法、及び光学測定プログラム

Inventor： 住原 花奈 ,  岡野 真人 ,  渡邉 紳一 ,  稲場 肇 ,  大久保 章
Applicant, Patent owner： 学校法人慶應義塾 ,  国立研究開発法人産業技術総合研究所
Agent (2)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2020059885
Publication number (International publication number)：2021156828
Application date： Mar. 30, 2020
Publication date： Oct. 07, 2021
Summary：

【課題】試料の加工なしに位相の不定性問題を解決し、測定対象物の複素屈折率の実部と虚部、及び厚さを、精度よく計測する技術を提供する。【解決手段】光学装置は、複数の周波数を含む光を出力する光源と、試料を透過した前記光の信号を検出する検出器と、検出された前記信号を解析するプロセッサと、を有し、前記プロセッサは、前記信号の位相と振幅から、前記試料のパワー透過率と、測定位相差を求め、前記試料の複素屈折率の周波数依存性の振動を最小にする前記試料の厚さと、前記測定位相差の位相シフト量(2πM)を示す整数(M)を順次、または同時に特定し、前記整数(M)を含む位相差、前記厚さ、及び前記パワー透過率に基づいて、前記試料の複素屈折率の実部と虚部を算出する。【選択図】図1A

Claim (excerpt)：

複数の周波数を含む光を出力する光源と、 試料を透過した前記光の信号を検出する検出器と、 検出された前記信号を解析するプロセッサと、 を有し、 前記プロセッサは、前記信号の位相と振幅から、前記試料のパワー透過率と、測定位相差を求め、 前記試料の複素屈折率の周波数依存性の振動を最小にする前記試料の厚さと、前記測定位相差の位相シフト量を示す整数を順次、または同時に特定し、 前記整数を含む位相差、前記厚さ、及び前記パワー透過率に基づいて、前記試料の複素屈折率の実部と虚部を算出する 光学測定装置。

IPC (2)：

G01N 21/41 ,  G01J 9/00

FI (2)：

G01N21/41 Z ,  G01J9/00

F-Term (13)：

2G059AA02 ,  2G059BB08 ,  2G059EE01 ,  2G059EE09 ,  2G059EE11 ,  2G059FF01 ,  2G059GG03 ,  2G059GG08 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM04 ,  2G059MM10