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J-GLOBAL ID：202103000554754547

アライメントシステム及び位置合わせ用シール

Inventor： 前田 躍 ,  星野 吉延 ,  豊岡 公徳
Applicant, Patent owner： 株式会社日立ハイテク ,  国立研究開発法人理化学研究所
Agent (1)： ポレール特許業務法人
Gazette classification：再公表公報
Application number (International application number)：JP2019041027
Publication number (International publication number)：WO2020080508
Application date： Oct. 18, 2019
Publication date： Apr. 23, 2020
Summary：

再観察時の位置情報の再現性の高いアライメントシステムを実現し、ユーザが効率的かつ容易に、関心のある領域を再観察することを可能とする。撮像装置(104)と荷電粒子線装置(100)との相関観察を可能とするアライメントシステムにおいて、複数の位置合わせ点が、試料が載置された状態での試料キャリアに設定され、アライメント制御部(153)は、撮像装置により第1の画像が撮像されるときにおける複数の位置合わせ点のそれぞれの位置情報と倍率及び、荷電粒子線装置により観察するときにおける複数の位置合わせ点のそれぞれの位置情報と倍率に基づき、撮像装置の座標系と荷電粒子線装置の座標系を変換する変換行列を求め、第1の画像に対して指定された視野に対して変換行列を使用し、荷電粒子線装置の視野情報に変換する。

Claim (excerpt)：

試料を載置する試料キャリアと、 前記試料キャリアに載置された前記試料に荷電粒子線を照射する荷電粒子光学系と、前記荷電粒子線が前記試料に照射されることにより発生する信号を検出する検出器とを備える荷電粒子線装置と、 前記試料キャリアに載置された前記試料を撮像装置により撮像した第1の画像及び前記第1の画像に対応する前記撮像装置の視野情報が入力されるアライメント制御部とを有し、 前記アライメント制御部は、前記荷電粒子線装置に載置された前記試料キャリアの複数の位置合わせ点の視野情報を取得する位置合わせ点取得部と、 前記撮像装置により前記第1の画像が撮像されるときにおける前記複数の位置合わせ点のそれぞれの位置情報と倍率及び、前記位置合わせ点取得部により取得された前記複数の位置合わせ点のそれぞれの位置情報と倍率に基づき、前記撮像装置の座標系と前記荷電粒子線装置の座標系を変換する変換行列を求めるアライメント処理部と、 前記第1の画像に対して指定された視野に対して前記変換行列を使用し、前記荷電粒子線装置の視野情報に変換する視野情報算出部とを有し、 前記複数の位置合わせ点は、前記試料が載置された状態での前記試料キャリアに設定されるアライメントシステム。

IPC (3)：

H01J 37/22 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/28

FI (4)：

H01J37/22 502H ,  H01J37/22 502J ,  H01J37/20 Z ,  H01J37/28 B

F-Term (6)：

5C101AA03 ,  5C101CC19 ,  5C101FF48 ,  5C101HH21 ,  5C101HH23 ,  5C101HH55