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J-GLOBAL ID：202103000679048547

微粒子測定方法、微粒子測定システム及び試料前処理装置

Inventor： 赤井 諭 ,  飯田 信雄 ,  中野田 伸治 ,  佐々木 義和 ,  菊地 真樹 ,  黒河 明 ,  熊谷 和博
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社 ,  国立研究開発法人産業技術総合研究所
Agent (1)： 特許業務法人YKI国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2020068500
Publication number (International publication number)：2021165657
Application date： Apr. 06, 2020
Publication date： Oct. 14, 2021
Summary：

【課題】液体に分散した微粒子の個数を客観的に正確に測定する。【解決手段】試料前処理装置10において、基材上に液滴が滴下される。液滴の凍結及び乾燥により、基材上に液滴痕が生じる。一方、試料前処理装置10では、液滴の質量又は体積が物理量として測定される。電子顕微鏡232により液滴痕を観察することにより得られた画像が解析され、液滴痕像に含まれる微粒子像の個数が微粒子数として演算される。微粒子像を物理量で割ることにより個数濃度が演算される。複数の微粒子サイズに対応した複数の個数濃度から個数濃度分布236が生成される。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

ノズルから基材に対して液滴を噴射する噴射工程と、 前記基材上に付着した液滴の処理により前記基材上に液滴痕を生じさせる処理工程と、 前記ノズルから噴射される液滴についての質量又は体積を物理量として測定する測定工程と、 前記液滴痕の観察により画像を取得する観察工程と、 前記画像に含まれる液滴痕像に属する微粒子像の個数を微粒子数として計数する計数工程と、 前記微粒子数及び前記物理量に基づいて個数濃度を演算する演算工程と、 を含むことを特徴とする微粒子測定方法。

IPC (2)：

G01N 1/00 ,  G01N 15/02

FI (2)：

G01N1/00 101K ,  G01N15/02 B

F-Term (16)：

2G052AD09 ,  2G052AD29 ,  2G052AD52 ,  2G052CA04 ,  2G052CA18 ,  2G052EB01 ,  2G052EB08 ,  2G052FD18 ,  2G052GA31 ,  2G052GA33 ,  2G052HA02 ,  2G052HA03 ,  2G052HA12 ,  2G052HA14 ,  2G052HC07 ,  2G052HC34