Pat

J-GLOBAL ID：202103003170596625

櫛歯型素子の製造方法

Inventor： 年吉 洋 ,  本間 浩章 ,  三屋 裕幸
Applicant, Patent owner： 国立大学法人 東京大学 ,  株式会社鷺宮製作所
Agent (1)： 特許業務法人 谷・阿部特許事務所
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2018215631
Publication number (International publication number)：2020082223
Patent number：6927530
Application date： Nov. 16, 2018
Publication date： Jun. 04, 2020
Claim (excerpt)：

【請求項1】 隙間を介して互いに噛合するように配置された複数の固定櫛歯と複数の可動櫛歯とを備え、前記固定櫛歯に対する前記可動櫛歯の噛合量が可変な櫛歯型素子の製造方法であって、 前記固定櫛歯を形成するための第1のマスクパターンと前記可動櫛歯を形成するための第2のマスクパターンとを、被エッチング基材の表面に形成し、 隣り合う前記第1のマスクパターンの間および隣り合う前記第2のマスクパターンの間の前記被エッチング基材上に配置され、隣り合う前記固定櫛歯と前記可動櫛歯との間の第1ギャップ寸法と互いに隣り合う前記固定櫛歯の間の第2ギャップ寸法とに応じた厚さの被エッチングマスクパターンを形成し、 Deep-RIEにより前記被エッチング基材および前記被エッチングマスクパターンをエッチングして前記固定櫛歯および前記可動櫛歯を形成する、櫛歯型素子の製造方法。

IPC (3)：

B81C 1/00 ( 200 6.01) ,  H02N 1/00 ( 200 6.01) ,  B81B 3/00 ( 200 6.01)

FI (3)：

B81C 1/00 ,  H02N 1/00 ,  B81B 3/00