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J-GLOBAL ID：202103006757636785

キャリア移動度計測方法とキャリア移動度計測装置

Inventor： 向田 雅一 ,  衛 慶碩 ,  石田 敬雄
Applicant, Patent owner： 国立研究開発法人産業技術総合研究所
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2020510475
Patent number：6942396
Application date： Feb. 27, 2019
Claim (excerpt)：

【請求項1】 試料と、前記試料の表面の一部に形成された光塩基発生剤を含有する層とを備える複合体を用いて、前記試料のキャリア移動度を計測するキャリア移動度計測方法であって、 前記試料と前記光塩基発生剤を含有する層の境界面に光を照射しながら、前記試料の前記境界面の電気抵抗またはコンダクタンスを測定する測定工程と、 前記測定工程で照射した光の強度と、前記電気抵抗または前記コンダクタンスの経時変化を用いて、前記試料のキャリア移動度を算出する算出工程と、 を有するキャリア移動度計測方法。

IPC (2)：

H01L 21/66 ( 200 6.01) ,  G01N 27/04 ( 200 6.01)

FI (2)：

H01L 21/66 L ,  G01N 27/04 Z