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J-GLOBAL ID：202103015705480484

フェリチン用リンス液

Inventor： 寒川誠二 ,  大堀大介 ,  門井幹夫
Applicant, Patent owner： 株式会社 東北テクノアーチ ,  リソテック ジャパン株式会社
Agent (1)： 辻永 和徳
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2019160097
Publication number (International publication number)：2021038310
Application date： Sep. 03, 2019
Publication date： Mar. 11, 2021
Summary：

【課題】基板の外周部、側面および裏側に形成されたフェリチン層を有効に除去するフェリチン用リンス液、およびリンス方法を提供する。【解決手段】リンス液において、アルカリ水溶液を使用する。好ましくはアンモニア水、NaOH、KOH、Mg(OH)2、Ca(OH)2の水溶液を使用する。水溶液は、pH範囲は11-12であり、重量%で0.085から8.5%である。より好ましくは0.17から5.1%、より好ましくは0.85から2.5%である。方法は、フェリチンを酢安で希釈した溶液(フェリチン濃度1〜50 mg/ml)を基板の上に滴下し、基板を回転させることで、酢安を蒸発させた後、pHのアルカリ水溶液をリンス液として使用し、基板の外周部分、側面および裏面をリンスする。リンスの条件としては典型的には、回転数は2000〜5000rpm、リンス液流量は1〜50ml/m、リンス時間は5〜10秒である。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

アルカリ性水溶液である、フェリチン用リンス液。

IPC (3)：

C11D 7/04 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/308

FI (4)：

C11D7/04 ,  H01L21/304 647Z ,  H01L21/304 643A ,  H01L21/308 G

F-Term (33)：

3B201AA01 ,  3B201AB34 ,  3B201BB21 ,  3B201BB92 ,  4H003BA12 ,  4H003DA15 ,  4H003DB01 ,  4H003DC04 ,  4H003EA23 ,  4H003ED02 ,  4H003FA28 ,  5F043AA40 ,  5F043BB27 ,  5F043BB30 ,  5F157AA12 ,  5F157AA14 ,  5F157AA15 ,  5F157AA36 ,  5F157AA42 ,  5F157AB02 ,  5F157AB33 ,  5F157AB90 ,  5F157AC01 ,  5F157AC23 ,  5F157BB22 ,  5F157BB24 ,  5F157BC07 ,  5F157BE12 ,  5F157BE32 ,  5F157BE33 ,  5F157BE35 ,  5F157BE57 ,  5F157DB03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• クロマトグラフィー用多孔質体の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-107666   Applicant：ジーエルサイエンス株式会社
• 特表平4-507255
  
• 微粒子固定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-002578   Applicant：松下電器産業株式会社
• 量子ドット複合体、量子ドット膜および太陽電池
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2013-264718   Applicant：京セラ株式会社
• 浴室用液体洗浄剤
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2016-206297   Applicant：ライオン株式会社