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J-GLOBAL ID：202104000001831547  Research Project code：09159280

境界収束型マイクロ波ランチャーを利用した高密度近接プラズマによる三次元・超高速DLC成膜装置の開発

境界収束型マイクロ波ランチャーを利用した高密度近接プラズマによる三次元・超高速DLC成膜装置の開発
Study period：2010 - 2010
Organization (1)：
名古屋大学

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Research responsibility：
上坂 裕之

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(
名古屋大学

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, 大学院工学研究科, 准教授 )
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