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J-GLOBAL ID:202104000024526210  Research Project code:10101504

浮遊型プローブによるプロセスプラズマ分析装置の開発

浮遊型プローブによるプロセスプラズマ分析装置の開発
National award number:JPMJSN10A4
Study period:2010 - 2011
Organization (1):
Research responsibility: ( , 情報理工学部, 教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJSN10A4
Research overview:
本課題では、集積回路(LSI)プロセスの中心技術である半導体製造プラズマ装置、ロケットスラスタープラズマさらには生物生体プロセスプラズマなど広範な応用プラズマの分析技術として、電子放出可能な浮遊型プローブ法を提案し、その原理特許を取得済みの技術をもとに、プラズマ電子エネルギー分析、電子・イオン密度解析、プラズマポテンシャル分布などの総合的分析を可能とするプラズマ分析装置プロトタイプの開発を目指します。
Terms in the title (6):
Terms in the title
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Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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