マイクロアンカ接合による中間層レスコーテッド工具の開発

Study period：2011 - 2011
Organization (1)：
Research responsibility： ( , 工学部第一類(機械システム工学系), 准教授 )
Research overview：

切削用工具においては、寿命をのばすために表面に硬質薄膜が成膜されることがある。一般に、硬質薄膜と基材との密着性は良くないので、多大なコストをかけて中間層が付与されている。本研究では、研究者らが新たに開発したナノワイヤによるアンカー効果を利用して、中間層レスコーテッド工具への適用を目指し研究を行った。種々の条件でワイヤを形成させた基材にSiC薄膜をスパッタコーティングし、薄膜の密着力を定量的に評価した。その結果、ナノワイヤ形成によりSiC薄膜の密着力は大幅に向上することがわかった。

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Research program：＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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