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J-GLOBAL ID:202104000326162099  Research Project code:7700009079

自己組織化ナノ表面を活用した高品質SiC基板の実用化研究

自己組織化ナノ表面を活用した高品質SiC基板の実用化研究
Study period:2006 - 2006
Organization (1):
Principal investigator: ( )
Research overview:
次世代電子デバイス材料としてもっとも注目されているSiC半導体の表面に着目し,特定オフ角度の基板表面に現れる非常に周期性の高い自己組織化ナノ表面構造とデバイス特性の相関を明らかにすることを目的とする。SiC傾斜基板(オフ基板)の高温ガスアニールにより発現する表面構造・物性の定量化を行う。特に基板オフ角度との相関を調べ,自己組織化ナノ表面の周期性の制御を行う。
Terms in the title (6):
Terms in the title
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Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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