ラボベース軟X 線光源用大開口・回転体集光ミラーの開発

National award number：JPMJSN12BC
Study period：2012 - 2015
Organization (1)：
Research responsibility： ( , 大学院工学系研究科, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJSN12BC
Research overview：

高輝度ラボベース軟X線光源を最大限活用するためには、発散するX線を集めることができる大開口・回転体X線ミラーが有効です。しかし、理想的なX線ミラーには、シングルナノメートルの極限の精度が必要であるため実現されていません。本課題では、3次元ナノ精度加工、常温電鋳法、3次元形状評価法、追加成膜形状修正法を開発することにより、理想的な性能を有する回転体軟X線集光ミラーを世界にさきがけて実現するとともに、将来の軟X線顕微鏡開発を視野に入れ、X線ミラーの設計・作製・評価を行います。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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