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J-GLOBAL ID:202104000403813685  Research Project code:08069323

ナノ厚さ薄膜の高分解能可視化法

ナノ厚さ薄膜の高分解能可視化法
Study period:2008 - 2008
Organization (1):
Principal investigator: ( , 大学院工学研究科 )
Research overview:
フォトレジスト、酸化シリコン絶縁膜などナノ厚さの液体・固体薄膜の形成・分布制御は、マイクロ・ナノテクノロジーのキーとなる技術である。そして、この形成・分布制御のための有効な評価法として、ナノ薄膜の分布をリアルタイムに動的観測する手段が強く求められている。この観測法には、高分解能でかつ非接触な動的観測が要請されるが、従来技術ではこれらを満たすものがなく、面内分解能(解像度)としては高々数μm程度であった。本課題は、考案したナノ薄膜を直接可視化する光学的方法により、動的でかつ高分解能(サブμm)な観測法を確立しようとするものである。
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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