軟X線多層膜鏡の1Å精度波面補正技術の開発

National award number：JPMJSN08B6
Study period：2008 - 2011
Organization (1)：
Research responsibility： ( , 多元物質科学研究所, 助教 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJSN08B6
Research overview：

軟X 線を光源とする生体顕微鏡では、軟X 線の機能性から生きた細胞の内部を高分解能で元素コントラスト観察できます。しかし、現状では、結像鏡用の超研磨基板の形状精度限界1nm が結像性能を大幅に劣化させています。本開発では、軟X線の強め合いの干渉を利用した多層膜鏡で満たすべき形状誤差0.1nm を、独自に考案した多層膜表面デジタルミリング除去法で物理光学的に反射波面を補正する方法を開発し、軟X 線用の回折限界結像鏡を実現します。

, , ,

Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page