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J-GLOBAL ID：202104000607236512  Research Project code：16808760

細穴内面DLC成膜による容器弁内素地へのガス吸着防止

細穴内面DLC成膜による容器弁内素地へのガス吸着防止
National award number：JPMJTM16BE
Study period：2016 - 2016
Organization (1)：
名古屋大学

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Research responsibility：
上坂 裕之

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(
名古屋大学

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, 工学研究科, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM16BE
Terms in the title (5)：
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