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J-GLOBAL ID:202104000680758195  Research Project code:08003235

ダイヤモンド薄膜の環境制御化学研磨技術の開発

ダイヤモンド薄膜の環境制御化学研磨技術の開発
Study period:2007 - 2007
Organization (1):
Principal investigator: ( , 大学院 自然科学系, 教授 )
Research overview:
ダイヤモンド薄膜のローカル結晶方位に依存しない、グローバル平坦化化学研磨条件の確立を目的とし、現在実用化されているダイヤモンド多結晶薄膜を対象にした最適化学研磨条件を研磨雰囲気の制御により明らかにする。
Terms in the title (4):
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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