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J-GLOBAL ID：202104001048740449  Research Project code：7700400717

マイクロマシニングと半導体製造技術の融合による、エンコーダ用小型検出素子の開発

マイクロマシニングと半導体製造技術の融合による、エンコーダ用小型検出素子の開発
Study period：2002 -
Organization (1)：
株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ

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Corporate responsibility：
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Organization with control over the research：
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