Proj
J-GLOBAL ID:202104001048740449  Research Project code:7700400717

マイクロマシニングと半導体製造技術の融合による、エンコーダ用小型検出素子の開発

マイクロマシニングと半導体製造技術の融合による、エンコーダ用小型検出素子の開発
Study period:2002 -
Organization (1):
Corporate responsibility:
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page