多機能ナノ加工・計測システムのためのダイヤモンドAFMプローブの開発

Study period：2008 - 2008
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 生産システム工学系, 助教授 )
Research overview：

将来のナノテクノロジーを支える革新的な製造技術として,ナノメートルレベルの微細加工(機械的除去加工,電気的加工など)が行え,かつ原子間力顕微鏡(AFM)としてのナノ形状計測・表面物性評価機能を同時に有する次世代の“ナノ加工・計測システム”の実現を目標とし,本研究では,高硬度・耐摩耗性を有するダイヤモンドAFMプローブの開発およびその製造プロセス(量産技術)を確立する.

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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