大気圧グロー放電によるアモルファスカーボン膜の高速成膜技術の開発

Study period：2009 - 2009
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 大学院工学研究科, 特任教授 )
Research overview：

廃液処理や生産環境等に課題があるめっきに代わる環境適応型ドライプロセスによる高速表面処理技術の開発ニーズは大きい。プラズマCVD、スパッタリング等、従来型ドライプロセス成膜法は、低気圧放電プラズマを利用するものであり、その成膜速度は0.02μm/min程度と遅く生産効率が高くない。また、高真空を必要とするため装置コストも高い。本研究では、安定な大面積大気圧グロー放電プラズマの生成と、これを用いた高品質カーボン膜の高速成膜技術を開発する。

, , , ,

Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page