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J-GLOBAL ID：202104001396006449  Research Project code：13419271

8インチ基板を用い、安全性を強化した高反応・高吸収効率MEMSフローリアクターの高精密製作量産化技術の開発

8インチ基板を用い、安全性を強化した高反応・高吸収効率MEMSフローリアクターの高精密製作量産化技術の開発
Study period：2013 - 2014
Organization (2)：
株式会社テクニスコ

About 株式会社テクニスコ

, 
独立行政法人産業技術総合研究所

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Corporate responsibility：
株式会社テクニスコ

About 株式会社テクニスコ


Research responsibility：
井上 朋也

About 井上 朋也

(
独立行政法人産業技術総合研究所

About 独立行政法人産業技術総合研究所

, 集積マイクロシステム研究センター, 主席研究員 )
Terms in the title (9)：
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
安全性

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, 
強化

About 強化

, 
吸収効率

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, 
MEMS

About MEMS

, 
フローリアクター

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, 
精密

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, 
製作

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, 
量産

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, 
開発

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Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

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Adaptable & Seamless Technology Transfer Program through Target-driven R&D

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High-risk Challenge

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Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

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