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J-GLOBAL ID:202104001516238691  Research Project code:08000419

酸化亜鉛系薄膜成長用MOCVD装置の開発

酸化亜鉛系薄膜成長用MOCVD装置の開発
Study period:2005 - 2008
Organization (1):
Research responsibility: ( , 総合理工学部, 教授 )
Research overview:
酸化亜鉛は次世代のLED材料として期待されている。本プロジェクトでは単結晶薄膜を工業的に生産できる装置の開発を目指して産学官連携で試作と評価を行い、高品質で均一性の優れた酸化亜鉛系薄膜を安全に成長できる有機金属気相成長(MOCVD)装置、原料ガス供給装置、排ガス処理装置を開発した。
Terms in the title (4):
Terms in the title
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Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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