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J-GLOBAL ID:202104001525630359  Research Project code:20349127

高臨場感VR/ARディスプレイのための高輝度フルカラーモノリシックLEDの開発

高臨場感VR/ARディスプレイのための高輝度フルカラーモノリシックLEDの開発
National award number:JPMJTR201D
Study period:2020 - 2023
Organization (2):
Corporate responsibility:
Research responsibility: ( , 生産技術研究所, 教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTR201D
Research overview:
高臨場感VR/AR用超高輝度・超高精細モノリシックマイクロLEDを開発する。結晶成長にはCREST、ACCELで開発した低温成長が可能で、安価で量産性に適したパルス・スパッタリング堆積法を用いる。低い結晶温度を活かして、従来手法では作製できなかったInGaN材料による高輝度赤色LEDやトンネル接合積層構造の実現を狙う。また、モノリシック化に不可欠なトンネル接合積層構造を用いた多端子型LED技術や発光径1μm程度の微細デバイスプロセス技術を開発する。さらに、ディスプレイ応用に向けて色分離技術を開発し混色のないオール窒化物系材料による赤・緑・青色モノリシックマイクロLEDアレイを実現する。
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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