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J-GLOBAL ID:202104001777115422  Research Project code:12102491

大きな機械衝撃耐性と感度をもつマイクロMEMSジャイロスコープの研究

大きな機械衝撃耐性と感度をもつマイクロMEMSジャイロスコープの研究
Study period:2012 - 2013
Organization (1):
Research responsibility: ( , 理工学部, 教授 )
Research overview:
ジャイロスコープは物体の傾きや回転運動を検出するセンサであり、運動制御システムでは必須のデバイスである。近年急速にその応用が拡大している振動型MEMSジャイロスコープは、その低い感度を補うために機械衝撃耐性を低く設計しなければならないことが最大の課題である。本研究は、かかる課題を解決するのに適したばね設計と検出回路の評価を行い、1)ばね構造がジャイロスコープの非線形発生の非常に敏感な原因となること、2)デバイス検出回路の詳細な評価から、ノイズ発生の主要な原因が試作した検出回路に原因があること、を明らかにした。これらの成果は、今後、ジャイロスコープの感度を増大させるのに適したばね設計、および、ノイズが少ない簡略化された小型検出回路の開発に役立つものである。
Terms in the title (5):
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Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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