磁気MEMSを利用した微小振動計測システムの開発

National award number：JPMJSN13B3
Study period：2013 - 2016
Organization (1)：
Research responsibility： ( , 電気通信研究所, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJSN13B3
Research overview：

超高感度振動計測システムの開発を行う。磁歪薄膜技術とMEMS 技術を融合させた磁気MEMS 技術により現行の金属ひずみゲージの1万倍の感度を有する検知素子を開発し、極微振動を検知するシステムを実現する。これにより、例えば橋梁の振動を橋脚根元付近に取り付けた装置で計測可能となり、その振動スペクトルから健全性の診断を可能とする。さらにこの技術は振動を駆動源とする環境発電分野への展開も期待される。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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