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J-GLOBAL ID：202104002372690191  Research Project code：18088578

新規液晶レンズを用いたリソグラフィ用露光装置におけるアライメントシステムの開発

新規液晶レンズを用いたリソグラフィ用露光装置におけるアライメントシステムの開発
National award number：JPMJTM18DK
Study period：2018 -
Organization (1)：
秋田大学

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Principal investigator：
河村 希典

About 河村 希典

(
秋田大学

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, 理工学研究科, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM18DK
Terms in the title (5)：
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液晶レンズ

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リソグラフィ

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露光装置

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アライメント

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開発

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Research program：
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Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

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