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J-GLOBAL ID：202104002618412242  Research Project code：7700116774

次世代超低損傷微細加工プロセス用大口径中性粒子ビーム源の開発

次世代超低損傷微細加工プロセス用大口径中性粒子ビーム源の開発
Study period：2012 - 2014
Organization (2)：
東京エレクトロン株式会社

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, 
東北大学

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Corporate responsibility：
東京エレクトロン株式会社

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Research responsibility：
寒川 誠二

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(
東北大学

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, 流体科学研究所, 教授 )
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Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

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Organization with control over the research：
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