火炎検知用紫外線検出器の開発

Study period：2007 - 2007
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 電子機械技術部, 主任専門研究員 )
Research overview：

ワイドバンドギャップ酸化物半導体であるZnOは、安全で無公害、安価といった特徴を持ち、更に可視光に対し透明で紫外線吸収率が高いことから、LED材料としてだけでなく、紫外線センサなどの受光デバイス材料としても期待されている。本研究開発では火炎検出を目指し、ZnO単結晶基板上へ多元スパッタ法によりMgZnO薄膜をエピタキシャル成長し、ショットキーフォトダイオード型紫外線検出器の開発を行なう。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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