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J-GLOBAL ID：202104002783110757  Research Project code：15658652

機能材料をベースとしたMEMSのための熱アシスト型反応性イオンエッチングの試験研究

機能材料をベースとしたMEMSのための熱アシスト型反応性イオンエッチングの試験研究
National award number：JPMJTM15GX
Study period：2015 - 2016
Organization (1)：
新潟大学

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Research responsibility：
安部 隆

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(
新潟大学

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, 大学院自然科学研究科, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM15GX
Terms in the title (6)：
Terms in the title
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機能材料

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MEMS

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アシスト

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反応性イオンエッチング

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試験

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研究

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Research program：
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Organization with control over the research：
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