プラズマ配向カーボンナノチューブ大面積成長装置の開発

Study period：2009 - 2009
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 大学院工芸科学研究科, 教授 )
Research overview：

本研究ではプラズマと基板の間に形成される強いシース電界を利用して、CVD(化学気相堆積)法によりカーボンナノチューブ(CNT)を自立させながら、大面積基板上に垂直に配向成長させる技術・装置を開発する。これまで、大面積化が可能な“RF支援DCプラズマCVD法”を開発し、予備実験において7cm角の基板上全面に自立配向したCNTを成長させることができている。本研究では、先鋭なCNTからの電界電子放出を利用したディスプレイ、キャパシタ、X線発生装置などへの応用を目指して、20cm角基板上全面へ自立配向CNT成長が可能な装置を開発し、実用性を実証する。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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