8の字形3次元微小振動を利用した金型鏡面研磨システムの開発

Study period：2008 - 2008
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 工学部, 准教授 )
Research overview：

工具先端に8の字形3次元微小振動(数百Hzの振動数)を与えることのできる工具振動システムを開発した。8の字形3次元振動の方位は、コンピュータ制御により3次元空間において自由に変えることができる。こうした振動を用いることで、微細なクロスハッチを被研磨面に与えるような研磨が可能になる。本研究では、10nmRa(算術平均粗さ)レベルの粗さを得ることを目標として、8の字形3次元微小振動による基本研磨特性を明らかにする。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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