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J-GLOBAL ID:202104003019030389  Research Project code:08062576

コヒーレントEUV光を用いた極微パタン構造計測技術の開発

コヒーレントEUV光を用いた極微パタン構造計測技術の開発
National award number:JPMJCR0842
Study period:2008 - 2013
Organization (1):
Principal investigator: ( , 高度産業科学技術研究所, 教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJCR0842
Research overview:
X線回折顕微法をEUV領域に展開し、より高精度な露光パタンの寸法計測ならびに欠陥観察が可能な計測技術の確立を図ります。スタンドアロン型の極短パルスレーザの高次高調波レーザからのコヒーレントEUV光源とEUVスキャトロメトリー顕微鏡との融合により、サブナノ精度のパタン寸法計測および露光用マスク欠陥観察技術を構築します。
Terms in the title (5):
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Research program:
Parent Research Project: 次世代エレクトロニクスデバイスの創出に資する革新材料・プロセス研究
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency
Reports :

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