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J-GLOBAL ID:202104003119061656  Research Project code:7700001988

大面積プラズマ支援スパッタリング法による自浄性ガラスの製造技術

大面積プラズマ支援スパッタリング法による自浄性ガラスの製造技術
National award number:JPMJTT0108
Study period:2001 -
Organization (2):
Principal investigator: ( )
Corporate responsibility:
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTT0108
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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