面逐次法による平面度測定システムの開発

Study period：2006 - 2006
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 工学部知能デザイン工学科, 講師 )
Research overview：

ナノテクと総称される最先端の研究も、実験装置などの製作においては、サブミクロンオーダでの機械加工および組立などを抜きにしては語れない。本研究では、特に高精度な機械工作を行う場合、平面基準となる定盤の平面度を簡便な装置で校正するシステムの開発を目指す。具体的には、2軸の傾斜を同時に計測可能な3本足で構成される傾斜計(面逐次法)を導入することで、測定精度を落とさず、かつ測定にかかる手間を減少させ、短時間で高度な評価を行えるシステムの開発を行う。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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