Proj
J-GLOBAL ID:202104003639216547  Research Project code:14530006

新奇な小型合金部品加工法による低摩耗・長寿命な超精密位置決めステージ用アクチュエータの開発

新奇な小型合金部品加工法による低摩耗・長寿命な超精密位置決めステージ用アクチュエータの開発
Study period:2014 -
Organization (2):
Corporate responsibility:
Research responsibility: ( , 工学部, 教授 )
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page