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J-GLOBAL ID:202104003694939400  Research Project code:11101978

赤外線式ガスセンサのための傍熱型波長選択マイクロ光源

赤外線式ガスセンサのための傍熱型波長選択マイクロ光源
Study period:2011 - 2011
Organization (1):
Research responsibility: ( , 工学(系)研究科(研究院), 教授 )
Research overview:
赤外線式ガスセンサのための傍熱型波長選択マイクロ光源を実現するために、原理検証ではニクロム線であった熱源のマイクロヒータ化に取り組んだ。Si/SiO2/Si構造を持つウェハの表裏側からのSi垂直エッチングにより、ほぼ宙に浮いたマイクロヒータ上に出射スリットが配置された一体構造を製作した。熱放射の閉じ込めができる光学系となる。マイクロヒータと基板間の熱絶縁には、幅の細い機械的に弱いデザインが良いが、パッケージする際のダイシングに耐える剛性とのバランスが問題となった。デザイン修正を3回加えた。格子とスペーサも製作してアセンブリし、出射スペクトルを計測した。コントラストは低いものの、波長選択的なピークが示唆された。光源構造および出射スペクトルの改善、効率の評価は今後も進める。
Terms in the title (3):
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Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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