SH型SAW薄膜デバイスの開発と生体計測への応用

Study period：2009 - 2009
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 工学研究科, 助教 )
Research overview：

本課題は、薄膜を用いた横波型の弾性表面波(SH型SAW)の発生と液体中質量負荷計測への応用を目的としている。通常の弾性波(レイリー型SAW)型センサを液体中で使用すると、音波エネルギーが液体中に漏れてしまい動作しない。そのためSH型SAWが必要となるが、この波の発生は単結晶板でしか成功していなかった。研究担当者は、近年初めて横波を発生する薄膜の合成に成功した。この膜は理論的にSH型SAWも発生する。本研究ではこのシーズを利用して、SH型SAWを発生させ、質量計測への応用を目指す。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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