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J-GLOBAL ID：202104003792078501  Research Project code：14530293

ニオブ酸リチウム単結晶ウェハにおける結晶欠陥の新画像検出法の開発研究

ニオブ酸リチウム単結晶ウェハにおける結晶欠陥の新画像検出法の開発研究
Study period：2014 -
Organization (2)：
NELクリスタル株式会社

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東京電機大学

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Corporate responsibility：
NELクリスタル株式会社

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Research responsibility：
星野 坦之

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東京電機大学

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, 特別専任教授 )
Terms in the title (7)：
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単結晶

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Research program：
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Organization with control over the research：
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