三次元形状高速プラズマ処理法の開発

Study period：2008 - 2008
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 大学院工学研究科機械理工学専攻, 講師 )
Research overview：

金属製機械部品の三次元形状面に対するダイヤモンドライクカーボン(DLC)成膜に大きな需要がある.しかしながらプラズマやイオンビーム処理は専らシリコンウェハのような平面基板を対象として発展してきたため,三次元形状面に対して高速にDLC成膜を行う方法の開発は十分に行われてこなかった.そこで我々は“マイクロ波が,負電位に有る金属表面に沿って高密度(1011~1012 cm-3)プラズマを生成しながら伝搬する“という技術シーズを利用して,三次元形状面を一括して高速に処理できる新しいプラズマ処理法を開発する.

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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