金属沿面マイクロ波プラズマによるマイクロ金型内面へのDLC成膜法の開発

Study period：2006 - 2006
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 大学院工学研究科, 講師 )
Research overview：

金型産業はこれまでの日本の製造業を支える基幹産業であった.しかしながら中国・韓国等の追い上げもあり,今後はマイクロ金型等のより高度な金型へのシフトが急務である.一方プラズマによる金型へのDLCコーティングは耐磨耗性向上による延命効果があり普及しつつあるあるが,マイクロ金型の微小凹凸に追従して均一なコーティングを施すことは困難である.特に昨今の微小化したマイクロ金型では,mmオーダー内径の細穴内面コーティングが要求されているが,従来技術では対応できていない.そこで我々が開発した金属沿面伝搬マイクロ波による沿面高密度プラズマ(金属沿面マイクロ波プラズマ)により,内径がmmオーダーで長さはその10 倍以上の微小口径細穴内面へのDLC成膜を実現する.

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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