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J-GLOBAL ID:202104004361808274  Research Project code:7700004721

シリコンマイクロチャネルプレートの開発

シリコンマイクロチャネルプレートの開発
Study period:2005 - 2005
Organization (1):
Principal investigator: ( , 工学部 )
Research overview:
超微少電流を量子限界レベルで且つpSecオーダーの応答速度で増幅できる真空デバイスとして使用されている2次元電子増倍素子であるマイクロチャネルプレート(以下MCP)は、現在も他の個体増幅素子では代替えできない優れた特性を有している。しかし従来製法によるMCPはガラス毛細管を10万本以上結束融着して作られるため極めて高価なものとなっていた。本申請ではMCP基板としてシリコン単結晶を用い、これをフォトエッチングにより形成したマスクを使ってICPプラズマエッチング法によりマイクロチャネルをー括形成し、さらにその内壁にCVD(化学的気相成長)により2次電子増倍膜を成膜することで大面積、高利得、高分解能のMCPを低コストで製造可能とするものである。
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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