微細形状測定用高機能スタイラスの開発

National award number：JPMJTM20H2
Study period：2020 - 2021
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 国際環境工学部, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM20H2
Research overview：

近年、立体的で微細な三次元形状が増加しており、これらを精密に測定するニーズ(例えば半導体チップの小径穴:直径10μm以下)が増加している。上記要求に応えるために、これまでに光ファイバをスタイラスとして用いた測定装置の開発を行ってきた。しかし、スタイラスの直径が数μm以下になると、表面間力の影響でスタイラスが測定対象面に付着すると同時に気流や振動の影響でスタイラスが振れやすくなり測定精度が悪化する問題が生じる。そこで、本研究では付着防止のためのスタイラスへの撥水・帯電防止コーティング塗布技術および振れ防止を目的としたひんじ付き2段スタイラスの開発(先端部直径0.5μm以下)を目標とする。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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