Proj
J-GLOBAL ID:202104004582685770  Research Project code:12103585

SPM装置シミュレータの活用・普及促進

SPM装置シミュレータの活用・普及促進
National award number:JPMJSN12E4
Study period:2012 - 2014
Organization (1):
Corporate responsibility:
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJSN12E4
Research overview:
【装置】本プログラム「プロトタイプ実証・実用化タイプ」において開発した走査型プローブ顕微鏡(SPM)装置シミュレータを開放(共同利用)します。 【内容】このSPM装置シミュレータは、特に半導体やナノ材料等の試料の精確分析が可能なものであり、本シミュレータの活用により、実測値と計算値との比較、計算パラメータ作成ソフトの使用等で幅広い高精度解析が可能となり、ナノ工学への貢献が期待されます。
Terms in the title (5):
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page