SPM装置シミュレータの活用・普及促進

National award number：JPMJSN12E4
Study period：2012 - 2014
Organization (1)：
Corporate responsibility：
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJSN12E4
Research overview：

【装置】本プログラム「プロトタイプ実証・実用化タイプ」において開発した走査型プローブ顕微鏡(SPM)装置シミュレータを開放(共同利用)します。【内容】このSPM装置シミュレータは、特に半導体やナノ材料等の試料の精確分析が可能なものであり、本シミュレータの活用により、実測値と計算値との比較、計算パラメータ作成ソフトの使用等で幅広い高精度解析が可能となり、ナノ工学への貢献が期待されます。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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