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J-GLOBAL ID：202104004687146603  Research Project code：11102807

金属触媒の利用によるシリコン薄膜の効率的な結晶化法の開発

金属触媒の利用によるシリコン薄膜の効率的な結晶化法の開発
Study period：2011 - 2012
Organization (1)：
芝浦工業大学

About 芝浦工業大学


Principal investigator：
弓野 健太郎

About 弓野 健太郎

(
芝浦工業大学

About 芝浦工業大学

, 工学部 材料工学科, 教授 )
Terms in the title (4)：
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
金属触媒

About 金属触媒

, 
シリコン薄膜

About シリコン薄膜

, 
結晶化

About 結晶化

, 
開発

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