音響測定による微細穴高精度検査技術の開発

Study period：2011 - 2011
Organization (1)：
Research responsibility： ( , 精密・電子技術部門加工部, 技師 )
Research overview：

微細穴を有する様々な穴加工品の穴径と穴容積を音響測定により高分解能に検査する技術を開発した。微細穴は穴径50[μm]~100[μm]でアスペクト比1~2の微細穴を有しており、気体を通過させる部品に使用され、通過する気体流量が穴径と穴容積に大きく依存するため、精度良く高分解能に検査を実施する必要がある。この微細穴に対し、穴径±5[%]の穴径差測定可能な実験装置を開発した。今後は検査装置のさらなる高分解能化と、技術移転を目的とした加工現場での全数検査が可能なインライン計測装置の開発を目指す。

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Research program：＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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