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J-GLOBAL ID：202104004838566162  Research Project code：12101525

ハーフメタル合金素子作製のための超高真空加熱・成膜制御システムの開発

ハーフメタル合金素子作製のための超高真空加熱・成膜制御システムの開発
Study period：2012 - 2013
Organization (2)：
アルバックテクノ 株式会社

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, 
東北大学

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Corporate responsibility：
アルバックテクノ 株式会社

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Research responsibility：
大兼 幹彦

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(
東北大学

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, 大学院工学研究科, 准教授 )
Terms in the title (7)：
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ハーフメタル

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合金

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作製

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高真空

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成膜

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Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

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Organization with control over the research：
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