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J-GLOBAL ID:202104004949037860  Research Project code:7700009428

超低消費電力小型SiCガスセンサの開発

超低消費電力小型SiCガスセンサの開発
Study period:2006 - 2006
Organization (1):
Principal investigator: ( , 学際科学国際高等研究センター, 教授 )
Research overview:
本試験では、センサネットワークによる環境モニタリングを想定した、超小型・高機能・超低消費電力のアクティブ無線タグ用半導体式ガスセンサに必要な要素技術を開発することを目的とする。具体的には、極薄炭化ケイ素(SiC)薄膜を用いたガスセンサ部の構築、及びSi MEMS技術を用いたヒータ製作を行い、ガスセンサとしての基本動作を確認する。
Terms in the title (4):
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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