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J-GLOBAL ID：202104005046154920  Research Project code：11103185

非イオン化クラスタービーム技術を利用したSi深堀エッチング技術の実用化開発

非イオン化クラスタービーム技術を利用したSi深堀エッチング技術の実用化開発
Study period：2011 - 2013
Organization (2)：
岩谷産業株式会社

About 岩谷産業株式会社

, 
京都大学

About 京都大学


Corporate responsibility：
岩谷産業株式会社

About 岩谷産業株式会社


Research responsibility：
松尾 二郎

About 松尾 二郎

(
京都大学

About 京都大学

, 大学院工学研究科, 准教授 )
Terms in the title (6)：
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
イオン化

About イオン化

, 
クラスタービーム

About クラスタービーム

, 
Si

About Si

, 
エッチング

About エッチング

, 
実用化

About 実用化

, 
開発

About 開発

Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

About Industry-Academia Collaborative R&D

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R&D Programs Focused on Technology Transfer

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Adaptable & Seamless Technology Transfer Program through Target-driven R&D

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High-risk Challenge

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Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

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