AFM探針形状評価技術の開発

National award number：JPMJSN05B1
Study period：2005 - 2008
Organization (1)：
Research responsibility： ( , 理事 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJSN05B1
Research overview：

原子間力顕微鏡(AFM)においては探針の先端形状のわずかな違いが測定結果(観察画像)に大きな影響を与えます。本開発では、先端形状評価用標準試料と評価技術の確立をめざします。化合物半導体成膜技術を応用して、5~100nmの凸凹周期構造と1nmレベルの孤立構造を持つ標準試料を開発し、探針形状の精密測定を可能にします。さらに標準試料による形状補正アルゴリズムを開発して、AFMにおけるナノ測定の定量化、標準化に貢献します。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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