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J-GLOBAL ID:202104005280176199  Research Project code:7700108181

液晶による位置制御用精密測長器

液晶による位置制御用精密測長器
Study period:2001 -
Organization (1):
Principal investigator: ( , 教授 )
Research overview:
液晶の電気光学効果を利用するサーボ機構の高精度測長技術を研究開発する。本技術によって、サーボに目標を直接指示できると共に、光センサーの出力から移動量の高精度ナノメートル位置検出が可能である。半導体生産装置、光・ハードディスク欠陥装置、レーザ工作機械、3次元スキャナ等の精密位置決めへの利用が期待される。
Terms in the title (3):
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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