薄膜デバイスによる複合センサアレイの研究開発

Study period：2011 - 2012
Organization (1)：
Research responsibility： ( , 理工学部, 教授 )
Research overview：

これまでの研究開発により、TFTを用いたフォトセンサ・磁場センサ・温度センサ・ケミカルセンサを単体のセンサとして作製し、動作確認に成功している。本研究開発課題では、実際にセンサアレイの試作を行い、センサアレイとして複数のセンサを集積化したとき要求される特性の整合性がとれるか、また、互いの検出動作が干渉することなく正確な検出ができるかについて明らかにし、動作確認を試みる計画であった。平成23年度は、予定どおりセンサアレイの実際の試作を完了した。トランジスタ特性は、スイッチング特性のバラツキも少なく、移動度もCAD設計で想定した範囲に収まっている。平成24年度は、センサアレイとして複数のセンサを集積化したとき要求される特性の整合性がとれることを、フォトセンサと温度センサについて確認した。今後は、同様のことを磁場センサとケミカルセンサについて確認するのと同時に、互いの検出動作が干渉することなく正確な検出ができるかについて明らかにしていく。

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Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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