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J-GLOBAL ID：202104005374395250  Research Project code：7700002043

触媒CVDによるシリコン成膜装置

触媒CVDによるシリコン成膜装置
National award number：JPMJTT9708
Study period：1997 -
Organization (2)：
北陸先端科学技術大学院大学

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, 
アネルバ株式会社

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Principal investigator：
松村 英樹

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(
北陸先端科学技術大学院大学

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)
Corporate responsibility：
アネルバ株式会社

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DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTT9708
Terms in the title (3)：
Terms in the title
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触媒CVD

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シリコン

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, 
成膜装置

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Research program：
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